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提出了一种由新型沟槽耦合器和90°弯曲波导构成的InGaAsP/InP基矩形马赫-曾德电光调制器,对该调制器的L型波导相移臂设计了T型类微带行波电极.首先利用电极的等效电路估算带宽上限,进而在考虑阻抗匹配、回波损耗以及带宽等性能的基础上,使用有限元方法对电极的传输、输入/输出以及过渡区的结构参量进行优化.仿真结果表明由于受到电极输入及过渡区的性能限制,设计的整体行波电极匹配阻抗大于42 Ω,回波损耗小于-15 dB,带宽可达65 GHz.测试制备的Ti/Au行波电极,得到回波损耗为-12 dB和带宽为20 GHz的最优性能.
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光子学报
ISSN： 1004-4213
Year： 2017
Issue： 5
Volume： 46
Page： 132-141
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