高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
不同沉积粒子对非晶碳氢薄膜性质影响的分子动力学研究
作者：
收录：
摘要：
非晶碳氢薄膜(a-C:H film)是一类具有亚稳态非晶结构的薄膜材料，具有许多优异特性，如极好的力学性能、光学透过性、生物相容性、极低真空摩擦系数等。文章介绍了不同沉积粒子在不同入射能量及角度的情况下，对非晶碳氢薄膜C、H原子含量、沉积率，薄膜粗糙度和sp3键组态的碳含量的影响。
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2015，物理学报
2021，余可心
2007，2007中国生物医学工程联合学术年会
2012，第十二届全国物理力学学术会议
来源 ：
凝聚态物理学进展
ISSN： 2326-3512
年份： 2016
期： 02
卷： 5
页码： 9-15
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： -1
中文被引频次：
近30日浏览量： 4
归属院系：
材料与制造学部 材料科学与工程学院
全文获取
外部链接：
