采用热蒸镀法,在石英基底上制备了不同化学组分的GexAsySe1-x-y,硫系玻璃薄膜,并对其拉曼光谱进行测量,旨在分析化学组分对薄膜内部结构的影响.分析了波数位于100～350　cm-1范围内薄膜拉曼光谱的演变,用高斯曲线对拉曼光谱进行分峰拟合.结果表明,样品在190　cm-1处Ge-Se振动模式随着Ge和As含量的增加而变强;随着平均配位数(MCN)的增加,As-Se振动模式减弱,位于225　cm-1和250　cm-1处的两个拉曼峰逐渐合并,并向高波数区域延伸;在Ge含量高的样品中,170～180　cm-1处的拉曼峰是由薄膜内部键缺陷造成的.