将纳米技术与传统的微电子工艺相结合,片上制备了横向结构氧化锌(ZnO)纳米线阵列紫外探测器件,纳米线由水热法直接自组织横向生长于叉指电极之间,再除去斜向的多余纳米线,其余工艺步骤与传统工艺相同。分别尝试了铬(Cr)和金(Au)两种金属电极的器件结构：由于Cr电极对其上纵向生长的纳米线有抑制作用,导致横向生长纳米线长度可到达对侧电极,光电响应方式为受表面氧离子吸附控制的光电导效应,光电流大但增益低,响应速度慢,经二次电极加固,纳米线根部与电极金属直接形成肖特基接触,光电响应方式变为光伏效应,增益和速度得到了极大改善；由于Au电极对其上纵向生长的纳米线有催化作用,导致溶质资源的竞争,相同时间内横向生长的纳米线不能到达对侧,而是交叉桥接,但却形成了紫外光诱导的纳米线间势垒结高度调控机理,得到的器件特性为最优,在波长为365　nm的20　mW/cm2紫外光照下,1　V电压时暗电流为10?9　A,光增益可达8×105,响应时间和恢复时间分别为1.1　s和1.3　s。