将波长为193　nm的ArF准分子激光和波长为248　nm的KrF准分子激光经光学系统分别垂直照射到不同材料的表面，通过改变激光脉冲数目，在大气背景下进行实验，用三维轮廓仪对照射后的样品表面形貌及表面粗糙度进行测试分析。研究了准分子激光与非金属材料相互作用的机理，并对比得到了193、248　nm激光对聚合物材料PMMA　（聚甲基丙烯酸甲酯）及HF4光学玻璃的刻蚀特性。结果表明：在激光能量密度为1.5　J/cm2时，波长193　nm激光比波长248　nm激光在刻蚀PMMA时能得到更好的效果，而在刻蚀HF4光学玻璃时却恰好相反。在准分子激光与非金属材料相互作用的过程中，既不是光源的波长越短，刻蚀效果越好，也不是光与物质相互作用中的光化学机理所占的比重越大，刻蚀效果越好；最终刻蚀效果的好坏取决于很多因素。