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针对锥形半导体激光器中的脊形波导区宽度较小的问题，对半导体激光芯片制造中的刻蚀标记及刻蚀方法进行了研究。提出对于锥形半导体刻蚀中的脊型区域和锥形区域，采用不同精度的双标记刻蚀方法，细化对脊形波导和锥形波导的刻蚀中的对准问题，并使光刻标在不同的光刻版上相错位排列，在相应光刻版中相互遮挡，反复刻蚀中保证相应的光刻标清晰、完整。刻蚀后的芯片在电流为7 A时获得了中心波长963 nm、连续功率4.026 W、慢轴方向和快轴方向激光光束参数乘积分别为1.593 mm·mrad和0.668 mm·mrad的激光输出。
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发光学报
ISSN： 1000-7032
Year： 2016
Issue： 12
Volume： 37
Page： 1502-1506
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