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石照耀 (石照耀.) (学者:石照耀) | 尚岳 (尚岳.) | 王笑一 (王笑一.) | 刘建刚 (刘建刚.)

收录:

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摘要:

长光栅传感器的静态精度的检测方法较为成熟,而其动态精度的检测尚没有一个有效的解决办法.针对此问题,研制了一种以高精度光栅尺为基准的长光栅动态误差检测系统.仪器主要由机械系统、测控系统、软件系统组成,通过在有效行程上与高精度光栅对比获得被测光栅的误差曲线.仪器采用直线电机驱动,保证了检测速度的要求,同时提高了长光栅传感器的检测效率.设计基于FPGA的双路光栅信号高速采集卡对光栅信号检测,解决了测量中同步触发问题及高速触发采样数据的处理问题.结果表明:本系统能够实现对光栅的动态精度的检测,检测效率高,适用于生产现场的大批量快速测量.

关键词:

光栅 动态误差 测量仪器

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心
  • [ 2 ] 贵阳新豪光电有限公司

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来源 :

北京工业大学学报

年份: 2016

期: 03

卷: 42

页码: 321-328

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