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武伟 (武伟.) | 秦飞 (秦飞.) | 安彤 (安彤.) | 陈沛 (陈沛.) | 宇慧平 (宇慧平.)

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摘要:

为了研究TSV-Cu的蠕变性能,首先利用典型的TSV工艺制作了电镀Cu的TSV试样,然后利用纳米压痕法对TSV-Cu进行了压痕蠕变测试.采用恒加载速率/载荷与恒载荷法相结合的方式,对TSV-Cu的蠕变行为进行了研究,测量了TSV-Cu在不同压入应变速率和最大压入深度条件下的蠕变行为.通过对保载阶段的数据进行处理,得到了不同加载条件下的蠕变速率敏感指数m.结果表明:压入应变速率和最大压入深度等加载条件对m的影响不很明显.

关键词:

纳米压痕 蠕变速率敏感指数 TSV-Cu 硅通孔

作者机构:

  • [ 1 ] [武伟]北京工业大学
  • [ 2 ] [秦飞]北京工业大学
  • [ 3 ] [安彤]北京工业大学
  • [ 4 ] [陈沛]北京工业大学
  • [ 5 ] [宇慧平]北京工业大学

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来源 :

北京工业大学学报

ISSN: 0254-0037

年份: 2016

期: 6

卷: 42

页码: 837-842

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