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司东海 (司东海.) | 李建军 (李建军.) | 付莹莹 (付莹莹.) | 邓军 (邓军.) | 韩军 (韩军.)

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摘要:

通过对有源区、波导层、限制层和隧道结的分析,设计了激射波长为905 nm的隧道带间级联非耦合双有源区半导体激光器.采用金属有机物化学汽相淀积(MOCVD)系统外延法生长了器件,并经过光刻、腐蚀、解理和焊装等工艺,制备了激射波长为905 nm的隧道带间级联非耦合双有源区半导体激光器.腔面未镀膜时,在1.2A的脉冲注入电流下,器件的峰值波长为904.4 nm,垂直远场为单峰,发散角为25.8°,表明两个有源区的光场未发生耦合,斜率效率为1.12 W/A,为相同结构单有源区器件的1.9倍.

关键词:

非耦合 隧道结 半导体激光器

作者机构:

  • [ 1 ] [司东海]北京工业大学
  • [ 2 ] [李建军]北京工业大学
  • [ 3 ] [付莹莹]北京工业大学
  • [ 4 ] [邓军]北京工业大学
  • [ 5 ] [韩军]北京工业大学

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来源 :

光电子·激光

ISSN: 1005-0086

年份: 2016

期: 2

卷: 27

页码: 139-144

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