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用数值模拟的方法,研究了散热面积为1 cm2带有层间微散热结构双面均热发热3D-IC内部流体层流流动与换热,对体积流量在36～290mL/min范围内,通道高度为200 μm,通道间距为200 μm的带有矩形微通道和叉排微针肋液体冷却3D-IC(three-dimensional integration circuit)的流动与换热进行了分析.结果表明:带有层间叉排微针肋液体冷却3D-IC具有良好的换热效果,在热流密度为1.25 MW/m2,体积流量为290 mL/min时,其发热面平均温度、最大温度只有318.31,323.16K,分别最大减小了12.31,20.14K,此时的功率为250W、体积热源为8.3 kW/cm3.
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