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摘要:

透射电子显微镜电学测试样品杆是用于透射电子显微镜中测试样品外场加载下电学性能的专用仪器。本文介绍通过对法兰及其它对接接口的系列设计,使该系统可应用于扫描电子显微镜中。该系列设计改造,能够大大拓展该电学测试系统的应用范围。以单根Si纳米线为例,在扫描电子显微镜中利用该电学测试系统实现Si纳米线弯曲变形下电输运性能的研究。

关键词:

扫描电镜 电学性能 透射电镜

作者机构:

  • [ 1 ] [矫丽丽]北京工业大学
  • [ 2 ] [郑坤]北京工业大学
  • [ 3 ] [王晋]北京工业大学
  • [ 4 ] [高攀]北京工业大学
  • [ 5 ] [邵瑞文]北京工业大学
  • [ 6 ] [张跃飞]北京工业大学
  • [ 7 ] [韩晓东]北京工业大学
  • [ 8 ] [张泽]北京工业大学

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来源 :

电子显微学报

ISSN: 1000-6281

年份: 2016

期: 4

卷: 35

页码: 1-6

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