齿廓误差是齿轮重要的单项误差之一,随着坐标测量机在齿轮测量中的广泛应用,直角坐标测量法在齿轮误差测量中的应用也越来越广.以齿廓误差为研究对象,针对直角坐标系下的齿廓误差测量及评定方法进行了系统研究.从齿轮工件坐标系的建立、齿廓测量路径的规划到齿廓误差的评定的完整过程进行了系统介绍,详细分析了几何法齿廓误差评定方法、公式法齿廓误差评定方法以及滑动法齿廓误差评定方法的实现原理,并比较了三种评定方法的算法精度与效率.实验结果表明,在算法精度方面,三种齿廓误差评定方法算法计算精度都达1×10-14量级;测量效率方面,50万齿廓测量点误差评定条件下,几何法齿廓误差评定方法算法效率最低,公式法齿廓误差评定方法效率最高,效率比达94倍.因此在实际应用中建议采用公式法齿廓误差评定方法.