• 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

作者:

黄旸 (黄旸.) | 邓世桂 (邓世桂.) | 郭伟玲 (郭伟玲.) | 孙捷 (孙捷.)

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

采用传统电化学鼓泡法转移的石墨烯破洞和褶皱较多。提出了一种改进型电化学鼓泡法转移大面积化学气相沉积石墨烯的技术。转移过程中,利用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)框和薄片在石墨烯和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)支撑层的上方形成了一个密闭空腔。此空腔阻挡了水和H+离子对PMMA的直接透过,从而不会在石墨烯的上下表面产生H2气泡,致使石墨烯产生破洞和褶皱,甚至发生断裂。通过扫描电子显微镜、原子力显微镜、喇曼光谱检测石墨烯形貌和结构,并制备场效应晶体管测量石墨烯载流子迁移率。结果表明,使用该方法转移的石墨烯几乎没有破损,具有很好的均匀性,其载流子迁移率约为4 500 cm2·V-1·s-1,高于未做阻挡层...

关键词:

化学气相沉积(CVD) 密闭空腔 电化学鼓泡法 石墨烯 转移

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程学院
  • [ 2 ] 瑞典查尔姆斯理工大学微技术与纳米科学系

通讯作者信息:

电子邮件地址:

查看成果更多字段

相关关键词:

来源 :

半导体技术

年份: 2016

期: 09

卷: 41

页码: 695-699

被引次数:

WoS核心集被引频次: 0

SCOPUS被引频次:

ESI高被引论文在榜: 0 展开所有

万方被引频次:

中文被引频次:

近30日浏览量: 2

在线人数/总访问数:1595/2972727
地址:北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编:100124) 联系我们:010-67392185
版权所有:北京工业大学图书馆 站点建设与维护:北京爱琴海乐之技术有限公司