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高农农 (高农农.) | 葛林 (葛林.)

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CQVIP PKU CSCD

摘要:

大幅降低单晶硅的生产成本是光伏行业急需解决的难题之一。本文采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉的热场结构进行了优化并分析了其对加热效率、单晶炉能耗和晶体氧含量的影响。结果表明,随加热器内径的减小,加热器对石墨坩埚的加热效率逐渐提升,进而使加热器的功率大幅下降;同时,熔体中的对流也受到抑制,减小了对流对坩埚壁的冲刷,降低了晶体中的氧含量。当加热器内径为550 mm时,单晶炉的功率降低了25.7%,晶体中的氧含量降低了27.1%,为进一步降低单晶硅的生产成本提供了依据。

关键词:

能耗 加热效率 单晶硅 氧含量

作者机构:

  • [ 1 ] 北京交通大学中国产业安全研究中心博士后科研工作站
  • [ 2 ] 北京工业大学

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来源 :

硅酸盐通报

年份: 2015

期: 12

卷: 34

页码: 3658-3662

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