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贾冠男 (贾冠男.) | 尧舜 (尧舜.) | 潘飞 (潘飞.) | 高祥宇 (高祥宇.) | 王智勇 (王智勇.) (学者:王智勇)

收录:

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摘要:

为克服传统光学方法测量半导体激光阵列(LDA)Smile效应时存在的光学系统搭建精度要求高、测试人员素质要求高、后期数据处理繁杂测量时间长等缺点,通过用机械接触式台阶仪的探针扫描焊接后LDA芯片N面的方式,快速测量LDA的Smile效应,并将之与传统光学方法测量的Smile效应进行对比。结果表明,两者形态完全一致,差别小于1μm。用台阶仪测量LDA Smile效应耗时小于1 min。此方法能为芯片焊接工艺优化Smile效应提供快速反馈,可方便集成在大批量生产流水线中对LDA的Smile效应进行实时监测。

关键词:

半导体激光阵列 激光器 Smile效应 光束质量

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学激光工程研究院

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来源 :

红外与激光工程

年份: 2015

期: 12

卷: 44

页码: 3576-3579

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