报道了248　nm准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果.实际采集并拍摄了248　nm准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源.通过分析空间光能量分布特征,设计并加工出一套适用于248　nm准分子激光的微透镜整形均束装置,且理论模拟和实际测试结果相吻合.248　nm准分子激光通过该光学系统整形均束后,可以在工作平面上得到一个约18　mm×l8　mm的正方形光斑,光斑的能量均匀度误差(加工窗)在±2％以内,平顶因子为0.90,光能量通过率为85％左右,解决了248　nm准分子激光光斑形状不规则,且光斑能量分布不均匀的问题.该装置的研制成功,对于优质、高效地开展准分子激光微加工提供了具有自主知识产权的技术支撑.