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金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟
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利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C:H)的生长过程.结构分析表明,得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关.CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低,从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例.
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来源 ：
物理学报
年份： 2015
期： 01
卷： 64
页码： 348-355
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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