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张传国 (张传国.) | 杨勇 (杨勇.) | 郝汀 (郝汀.) | 张铭 (张铭.)

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C:H)的生长过程.结构分析表明,得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关.CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低,从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例.

关键词:

分子动力学模拟 无定形碳氢薄膜 金刚石表面

作者机构:

  • [ 1 ] 中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室
  • [ 2 ] 北京工业大学材料科学与工程学院

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来源 :

物理学报

年份: 2015

期: 01

卷: 64

页码: 348-355

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