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[期刊论文]
单层TiO2薄膜折射率研究
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摘要：
TiO2具有高的折射率、低的吸收系数等特点，镀膜时真空腔体温度与离子源功率等因素对TiO2薄膜折射率分布规律有很大影响，本文用电子束蒸发法制备TiO2薄膜，并系统的探讨了蒸镀温度、离子源参数两个工艺参数对TiO2薄膜折射率波动方面的影响，得出一组蒸镀工艺参数，使TiO2折射率最高达到2．57。
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来源 ：
农家科技（下旬刊）
ISSN： 1003-6989
年份： 2015
期： 3
页码： 210-210
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