半波电压是电光相位调制器的一个重要指标,针对现有半波电压测量方法存在的测量误差大、测量装置复杂等问题,提出了基于激光相控阵光束扫描原理的半波电压测量方法。通过理论分析,得到了远场主光束的偏移量和相位调制器半波电压的关系表达式。搭建了1×2全光纤激光相控阵光路,对铌酸锂波导相位调制器的半波电压进行了实验测量,改变相位调制器的加载电压,记录多幅远场光强分布图,通过求平均值减小测量误差,而且根据远场光强分布的变化得到了相位调制特性曲线。结果表明,该方法测量装置简单,不仅可以精确地测量半波电压,还可以对相位调制线性度进行分析,具有重要的工程应用价值。