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KDP晶体表面波纹度的监测与分析
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采用二次通用回归旋转组合设计方法和单点金刚石飞刀切削(Single Point Diamond Turning,简称SPDT)技术,对KDP晶体进行切削试验.利用声发射技术对KDP晶体不同表面波纹度的信号进行采集,对试验结果进行测量与分析.通过时域分析可得到:均方值可作为KDP晶体加工过程中表面波纹度在线监测的重要时域特征量;通过频域分析可得到:150～200kHz可作为在线监测KDP晶体表面波纹度度的特征频段.
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来源 ：
制造技术与机床
ISSN： 1005-2402
年份： 2015
期： 9
页码： 126-131
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