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金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?
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利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C：H)的生长过程。结构分析表明，得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关。 CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低，从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例。
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来源 ：
物理学报
ISSN： 1000-3290
年份： 2015
期： 1
页码： 018102-1-018102-8
1 . 0 0 0
JCR@2022
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