• 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

作者:

朱启发 (朱启发.) | 韩军 (韩军.) | 王逸群 (王逸群.) | 张宝顺 (张宝顺.) | 郭立建 (郭立建.)

收录:

CQVIP PKU

摘要:

对一种基于玻璃隔热桥结构芯片级原子钟物理系统进行了热学分析。通过理论方法对真空下无封装外壳物理系统各个导热路径进行了分析,同时用有限元方法分析了镀金涂层对其功耗的影响,并且进行了实验验证。实验表明:无封装外壳情况下,在工作区部分外表面镀金涂层可以使物理系统总功耗从93.6 mW降低到72.4 mW,实验值与有限元仿真结果一致。最后对真空下有封装外壳物理系统进行了有限元仿真,仿真结果表明:给工作区部分外表面镀金涂层物理系统盖上封装外壳,可以使物理系统总功耗降低至57.2 mW,在基座和封装外壳内表面都镀上金涂层可以使物理系统总功耗进一步降低至34.8 mW。

关键词:

低功耗 原子钟 微机电系统(MEMS) 有限元方法 热分析 物理系统 金涂层

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程学院
  • [ 2 ] 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台

通讯作者信息:

电子邮件地址:

查看成果更多字段

相关关键词:

来源 :

微纳电子技术

年份: 2015

期: 06

卷: 52

页码: 377-383,401

被引次数:

WoS核心集被引频次: 0

SCOPUS被引频次:

ESI高被引论文在榜: 0 展开所有

万方被引频次:

中文被引频次:

近30日浏览量: 2

归属院系:

在线人数/总访问数:1821/2961667
地址:北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编:100124) 联系我们:010-67392185
版权所有:北京工业大学图书馆 站点建设与维护:北京爱琴海乐之技术有限公司