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V型和Z型电热微驱动器性能比较与分析(邀请论文)
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提出一种用于V型和Z型电热微驱动器性能比较的拓扑结构和标准,建立了在真空工作环境下V型和Z型电热微驱动器系统分析与比较模型.有限元仿真分析和实验结果验证了分析模型的准确性和有效性.借助此分析模型及所提出的性能比较拓扑结构和标准,综合分析和比较了V型和Z型电热微驱动器随不同结构参数变化时输出位移和力性能,为V型和Z型电热微驱动器的合理选择、系统设计与分析提供了可靠和实用的指导.
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 2015
期： 11
卷： 41
页码： 1636-1643
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材料与制造学部 机械工程与应用电子技术学院
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