高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
飞秒激光制备黑硅的光谱特性
作者：
收录：
摘要：
本文采用飞秒激光在空气中对单晶硅进行扫描处理,在硅表面制备出平行排列并具有微尺度沟槽的黑硅材料.在扫描电子显微镜下,观察到了黑硅的纳米尺度的二级结构.通过黑硅的反射光谱发现,在250～1000 nm光谱区域的反射率明显降低,且沟槽越深,反射率越低.同时,对沟槽深度与反射率的关系以及二级纳米结构的形貌进行了讨论.通过黑硅的拉曼光谱发现,飞秒激光处理后的硅片没有发生成分和结构上的变化,黑硅的成分依然是单晶硅.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2013，第十七届全国光散射学术会议
2016，中国物理学会2016年秋季会议
2014，
2015，中国激光
来源 ：
光散射学报
ISSN： 1004-5929
年份： 2014
期： 2
卷： 26
页码： 154-158
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 1
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
全文获取
外部链接：
