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介绍了一种用于X射线工业检测的多通道电荷读出IC.该电荷读出IC可提供64个通道,将探测器电荷转换成模拟电压.电路由电荷放大器增益控制、增益电容阵列、时序发生器、移位寄存器链、电荷放大器阵列和采样保持放大器等组成,具有低噪声、14位动态范围等特性.电路芯片采用0.8 μm标准CMOS工艺制造,芯片尺寸为3.1mm×10.9 mm.电路在3.3 MHz频率、5V电源电压和3.5V参考电压下工作,电路功耗为45 mW.测试结果表明,在电荷放大器增益电容为0.5 pF和光电二极管结电容为33 pF下,电路的输出噪声达到600 μV (Vrms).
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