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张滔 (张滔.) | 郑坤 (郑坤.) (学者：郑坤) | 张斌 (张斌.) | 邵瑞文 (邵瑞文.) | 韩晓东 (韩晓东.) (学者：韩晓东) | 张泽 (张泽.)

收录：

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摘要：

通过磁控溅射仪制备了Ge2Sb2Te5(GST)和Ag10.6(GST)89.4薄膜,利用X射线衍射(XRD)、电阻-温度(RT)测试、透射电子显微学以及径向分布函数(RDF)等方法对比研究了GST和Ag10.6(GST)89.4的结晶过程和微观结构及其演化的差异。发现掺Ag的薄膜非晶态、晶态电阻均比GST更高,而且结晶过程只有非晶相到面心立方相(fcc)的转变,没有出现GST的非晶到fcc再到六方相(hcp)的过程,XRD分析进一步证实了这一结果。同时,透射电镜原位加热实验证实了在300℃时,Ag10.6(GST)89.4仍然保持着fcc结构,而GST中已经出现了hcp相。通过统计230℃下...

关键词：

Ag掺杂 相变材料 磁控溅射 GeSbTe 透射电镜

作者机构：

  • [ 1 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 2 ] 浙江大学电镜中心材料科学与工程学系

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来源 ：

电子显微学报

年份： 2014

期： 01

卷： 33

页码： 1-6

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