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[期刊论文]
不同工艺线性稳压器电离辐射效应及退火特性
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研究掺氯氧化+PE钝化、无氯氧化+PE钝化、掺氯氧化+BPSG钝化三种不同工艺线性稳压器的电离辐照响应及退火特性.实验结果发现,掺氯氧化+BPSG钝化工艺样品比其他两种工艺电离损伤明显减小,具有较强的抑制电离辐射损伤的能力.退火实验表明,辐射感生的界面态是影响稳压器电离辐射性能的主要因素,减少界面态可大大提高器件抑制电离辐射损伤的能力.
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来源 ：
微电子学
ISSN： 1004-3365
年份： 2014
期： 2
卷： 44
页码： 253-255,259
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