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田蕴杰 (田蕴杰.) | 张小玲 (张小玲.) | 谢雪松 (谢雪松.) | 佘烁杰 (佘烁杰.) | 吕长志 (吕长志.) | 王任卿 (王任卿.)

收录:

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摘要:

IGBT在实际应用中会频繁处于周期性的高低温循环过程,循环过程中反复作用于IGBT器件的热应力极易在焊料层形成空洞,从而导致器件热阻增大甚至热疲劳失效.通过有限元软件ANSYS建立了两种新的分散空洞模型,在工作功率条件下对比5%到50%中心空洞率及10%到20%分散空洞率模型的热分布并进行模拟分析.结果表明,边缘分散空洞对器件温升影响小于均匀分散空洞和中心空洞,但在温度循环中先于后者出现.空洞率为10%时,边缘分散空洞模型最高温升高了1.6K,与phase11和超声波显微镜实测IGBT器件功率循环5 000次后结果基本一致.

关键词:

热疲劳 绝缘栅双极型晶体管 空洞率 空洞位置

作者机构:

  • [ 1 ] [田蕴杰]北京工业大学
  • [ 2 ] [张小玲]北京工业大学
  • [ 3 ] [谢雪松]北京工业大学
  • [ 4 ] [佘烁杰]北京工业大学
  • [ 5 ] [吕长志]北京工业大学
  • [ 6 ] [王任卿]中国科学院微电子研究所

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来源 :

固体电子学研究与进展

ISSN: 1000-3819

年份: 2014

期: 3

卷: 34

页码: 288-292

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