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周新田 (周新田.) | 吴郁 (吴郁.) | 胡冬青 (胡冬青.) | 贾云鹏 (贾云鹏.) | 张惠惠 (张惠惠.) | 穆辛 (穆辛.) | 金锐 (金锐.) | 刘钺杨 (刘钺杨.)

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摘要:

新型的电场终止型绝缘栅双极晶体管(FS-IGBT)改善了传统穿通型(PT)IGBT性能上的不足,但对于1 200 V以下器件需要超薄片加工。为打破加工技术的限制,用简易的厚片工艺实现薄片性能,可以在集电结附近设置载流子局域寿命控制层(LCLC)来改善器件性能。目前有两种方案:将LCLC区置于集电区内形成内透明集电极IGBT(ITC-IGBT);或置于缓冲层内,形成缓冲层局域寿命控制IGBT。对这两种结构的600 V器件结合具体参数进行了仿真和比较。仿真结果表明,两种结构的器件可实现几近相同的折中特性,但当LCLC区位于缓冲层内时,需要更低的局域寿命,且更易发生通态特性的回跳现象,影响器件性能。...

关键词:

内透明集电极绝缘栅双极晶体管(ITC-IGBT) 回跳现象 折中特性 缓冲层局域寿命控制IGBT 载流子局域寿命控制层(LCLC)

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程学院
  • [ 2 ] 国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所

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来源 :

半导体技术

年份: 2014

期: 02

卷: 39

页码: 114-118,141

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