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吴波 (吴波.) | 邓军 (邓军.) | 杨利鹏 (杨利鹏.) | 田迎 (田迎.) | 韩军 (韩军.) | 李建军 (李建军.) | 史衍丽 (史衍丽.)

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摘要:

利用MOCVD在InP衬底上制备InP/In0.53 Ga0.47As/InP双异质结PIN型材料,通过对本征层In0.53Ga0.47As材料的光致荧光谱研究,发现PIN结构中两侧InP材料的掺杂特性对中间In0.53Ga0.47As材料的光致发光特性有明显的影响.本文通过对两侧InP材料的变掺杂处理,实现了In0.53Ga0.47As材料光致发光特性的有效提高.

关键词:

InGaAs InP MOCVD 变掺杂

作者机构:

  • [ 1 ] [吴波]北京工业大学
  • [ 2 ] [邓军]北京工业大学
  • [ 3 ] [杨利鹏]北京工业大学
  • [ 4 ] [田迎]北京工业大学
  • [ 5 ] [韩军]北京工业大学
  • [ 6 ] [李建军]北京工业大学
  • [ 7 ] [史衍丽]中国科学院昆明物理研究所

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来源 :

红外技术

ISSN: 1001-8891

年份: 2014

期: 5

卷: 36

页码: 415-418

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