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光纤引导皮秒激光Al2O3陶瓷精细刻线研究
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作为一项基础研究，提出了一种在陶瓷表面加工凹槽的新方法，利用光纤引导激光在陶瓷表面实现加工，并基于有限元分析法，对光通过光纤的电场强度进行了模拟，从实验和模拟两方面证明了光纤对激光具有光强增强效果，及其对光束的引导作用，能达到材料表面微结构的加工效果。与未用光纤引导激光加工的陶瓷表面做对比，光纤对光强的增强效应使得在具有高熔点、高硬脆物理特性的陶瓷表面产生刻蚀成为可能，小于聚焦光束直径(50μm)的增强区域尺寸保证了加工精度的提高。
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来源 ：
电加工与模具
ISSN： 1009-279X
年份： 2013
期： 6
页码： 51-54
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