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孙沛 (孙沛.) | 李建军 (李建军.) | 邓军 (邓军.) | 韩军 (韩军.) | 马凌云 (马凌云.) | 刘涛 (刘涛.)

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

用来制作光电子器件的(Al_(0.1)Ga_(0.9))_(0.5)In_(0.5)为直接带隙的四元合金材料,对应的发光波长为630nm,在其LP-MOCVD(low press-metalorganic chemical vapor deposition)外延生长过程中温度的高低成为影响其质量的关键,找到合适的生长温度窗口很有必要.实验中分别在700C,680C,670C和660C的条件下生长出作为发光二极管有源区的(Al_(0.1)Ga_(0.9))_(0.5)In_(0.5)多量子阱结构,通过PL谱的测试对比分析,找出最佳生长温度在670C附近.之后对比各外延片的PL谱、表面形貌,并对反...

关键词:

AlGaInP MOCVD 温度

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程控学院
  • [ 2 ] 光电子技术省部共建教育部重点实验室

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来源 :

物理学报

年份: 2013

期: 02

卷: 62

页码: 510-514

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