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崔高增 (崔高增.) | 刘涛 (刘涛.) | 李国光 (李国光.) | 郭霞 (郭霞.) (学者:郭霞) | 夏洋 (夏洋.)

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摘要:

双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制.提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度.探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性.此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值.

关键词:

偏差角度 光谱椭偏仪 光轴 双片波片补偿器 测量 消色差

作者机构:

  • [ 1 ] [崔高增]中国科学院微电子研究所
  • [ 2 ] [刘涛]中国科学院微电子研究所
  • [ 3 ] [李国光]中国科学院微电子研究所
  • [ 4 ] [郭霞]北京工业大学
  • [ 5 ] [夏洋]中国科学院微电子研究所

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来源 :

激光与光电子学进展

ISSN: 1006-4125

年份: 2013

期: 6

卷: 50

页码: 89-94

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