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马捷 (马捷.) | 李辉 (李辉.) | 张永志 (张永志.) | 魏建忠 (魏建忠.) | 张姗 (张姗.)

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摘要:

为了提高CVD钨的强度和韧性,采用自制化学气相沉积装置,以WF6和H2为反应气体,在化学气相沉积钨过程中周期性地在基体上缠绕钨丝,沉积制备了钨丝- CVD钨复合材料.使用金相显微镜和扫描电镜(SEM)分别对沉积制备的钨丝-CVD钨复合材料涂层的显微组织和断口形貌进行观察和分析,使用X射线衍射仪(XRD)、电子能谱仪、密度测量仪、显微硬度仪和万能材料试验机分别测试分析了涂层的结构、成分、密度、显微硬度及压溃强度.结果表明:与不缠钨丝的CVD钨管相比,缠绕钨丝的CVD钨管中CVD钨晶粒得到了细化,择优取向基本消失;钨丝-CVD钨复合材料涂层具有较高纯度和致密度;钨丝-CVD钨管的压溃强度显著提高,断口形貌发生了明显的变化.

关键词:

化学气相沉积(CVD) 复合材料 钨丝

作者机构:

  • [ 1 ] [马捷]北京工业大学
  • [ 2 ] [李辉]北京工业大学
  • [ 3 ] [张永志]北京工业大学
  • [ 4 ] [魏建忠]北京工业大学
  • [ 5 ] [张姗]北京工业大学

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来源 :

中国表面工程

ISSN: 1007-9289

年份: 2012

期: 3

卷: 25

页码: 63-67

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