基于半导体器件仿真工具SILVACO　TCAD,研究了三种常见的基区Ge组分分布(矩形、梯形和三角形)对多指功率SiGe异质结双极型晶体管(HBT)的热学特性的影响.结果　表明,基区Ge组分为梯形分布和三角形分布的多指SiGe　HBT的增益随温度变化比较平缓,各发射极指的峰值温度明显小于矩形分布的各指峰值温度,器件纵向和表面温度分布也更加均匀,因此,与矩形分布相比,梯形分布和三角形分布的多指SiGe　HBT在热学特性上有了很大的改善,电学特性也相对热稳定.在这三种结构中,梯形分布可以更好地兼顾增益特性和热学特性.