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摘要：
在大气下,采用大气压介质阻挡放电(DBD)等离子体枪在低温下＜350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在Ti6Al4V钛合金表面制备一层类金刚石薄膜(DLC),以期改善钛合金表面摩擦学性能.利用激光拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分析了所制备DLC薄膜的结构；利用扫描电子显微镜(SEM)观察DLC薄膜的表面形貌；利用划痕仪测量了DLC薄膜与基体的结合力；利用球-盘摩擦磨损实验仪对DLC薄膜的耐磨性能进行了研究.结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为1.0 μm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度Ra为13.23 nm.类金刚石薄膜与基体结合力的临界载荷达到31.0N.DLC薄膜具有优良的减摩性,Ti6Al4V表面沉积DLC薄膜后摩擦系数为0.15,较Ti6Al4V基体的摩擦系数0.50明显减小,耐磨性能得到提高.
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