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化学气相沉积钨管开裂原因分析
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采用切环测量法及X射线应力分析方法对化学气相沉积制备的开裂钨管进行测量与分析.结果表明,在钨管内表面较大残余拉应力作用下,裂纹萌生于钨管内表面两个邻近柱状晶的晶界,沿柱状晶的晶界向钨管外壁扩展;钨管外表面存在较大的残余压应力对裂纹的继续扩展起阻碍作用.
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来源 ：
中国表面工程
ISSN： 1007-9289
年份： 2011
期： 1
卷： 24
页码： 29-32,39
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