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化学气相沉积法制备钨管性能研究
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以WF6、H2为原料，采用化学气相沉积法沉积制备出不同直径难熔金属钨管。对不同沉积温度(500℃，600℃，700℃)沉积制备钨管的纯度、密度、显微硬度、残余应力及钨管强度进行了测试与分析研究。研究结果表明：沉积制备钨管具有高纯度和高致密度；随着沉积温度、钨管半径(3～20 mm)不同，显微硬度值在500～800 HV之间；沿钨管圆周、半径方向存在较大残余应力；抗拉强度范围在300～500 MPa.
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来源 ：
兵工学报
ISSN： 1000-1093
年份： 2011
期： 6
卷： 32
页码： 703-706
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