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张健 (张健.) | 张小玲 (张小玲.) | 吕长志 (吕长志.) | 佘烁杰 (佘烁杰.)

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摘要:

根据IGBT的基本结构和工作原理,建立了一种新的IGBT三维热模型.该模型考虑了Si材料的温度特性,模拟研究了焊料层空洞对器件热稳定性的影响.研究表明焊料层空洞对IGBT器件的热稳定性有很大的影响.实测结果、超声波显微镜以及红外显微镜的扫描图片证实模拟结果.该研究结果对于改进IGBT器件的可靠性有一定意义,值得器件应用工程师、设计及工艺工程师参考.

关键词:

可靠性 热模型 空洞 绝缘栅双极晶体管

作者机构:

  • [ 1 ] [张健]北京工业大学
  • [ 2 ] [张小玲]北京工业大学
  • [ 3 ] [吕长志]北京工业大学
  • [ 4 ] [佘烁杰]北京工业大学

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来源 :

固体电子学研究与进展

ISSN: 1000-3819

年份: 2011

期: 5

卷: 31

页码: 517-521

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