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射频功率晶体管内匹配技术中键合线的建模仿真与参数提取
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金属键合线互连是射频大功率晶体管内匹配技术中的关键手段.键合线的直径、长度、拱高和并列键合线间距等物 理参量,均对器件性能有很大影响.采用三维电磁仿真软件EMDS和射频电路设计软件ADS对金属键合线互连进行了建模 仿真和射频等效参数提取,分析了等效参数与键合线各物理参量之间的关系,针对具体的关系特点及内匹配技术中键合线的 选取,给出了相应的优化设计措施.
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来源 ：
电子器件
ISSN： 1005-9490
年份： 2011
期： 4
卷： 34
页码： 363-366
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