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[期刊论文]
GaN微电子器件的研究进展
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介绍了GaN材料的优良特性以及工艺上存在的问题;着重介绍了GaN微电子器件的历史发展和最新发展;GaN微电子器件发展表现出较大应用潜力。
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来源 :
河北省科学院学报
年份: 2011
期: 01
卷: 28
页码: 49-55
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