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作者:

吕曼 (吕曼.) | 司晓琨 (司晓琨.) | 杨立军 (杨立军.)

收录:

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摘要:

介绍了GaN材料的优良特性以及工艺上存在的问题;着重介绍了GaN微电子器件的历史发展和最新发展;GaN微电子器件发展表现出较大应用潜力。

关键词:

GaN GaN器件 GaN材料

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电控学院
  • [ 2 ] 河北省科学院应用数学研究所
  • [ 3 ] 石家庄开发区冀科双实科技有限公司
  • [ 4 ] 河北省信息安全认证工程技术研究中心
  • [ 5 ] 河北省安装工程公司

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来源 :

河北省科学院学报

年份: 2011

期: 01

卷: 28

页码: 49-55

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