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[期刊论文]
电液动力微泵的改进
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介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。
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来源 ：
工程热物理学报
年份： 2011
期： 07
卷： 32
页码： 1215-1217
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环境与生命学部 环境与能源工程学院
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