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郑君 (郑君.) | 周伟松 (周伟松.) | 胡冬青 (胡冬青.) | 刘道广 (刘道广.) | 何仕均 (何仕均.) | 许军 (许军.)

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摘要:

借助半导体仿真工具Silvaco中所提供的工艺摸拟器(Athena)和器件摸拟器( Atlas),及L-Edit版图设计工具,设计了一款击穿电压高于-90 V、阈值电压为-4V的p沟VDMOS器件.经实际流片测试,器件的导通电阻小于200 m Ω,跨导为5S,栅-源泄漏电流和零栅电压时的漏-源泄漏电流均在纳安量级水平,二极管正向压降约为-1V.采用2-D器件仿真方法以及相关物理模型对所设计的p沟VDMOS器件的单粒子烧毁(SEB)和单粒子栅击穿(SEGR)效应进行了分析和研究,并通过对所获得的器件样片采用钴-60 γ射线源进行辐照实验,研究了在一定剂量率、不同总剂量水平条件下辐照对所研制的p沟VDMOS器件相关电学参数的影响情况.

关键词:

p沟VDMOS:单粒子烧毁 单粒子栅击穿 辐照 线性能量转移

作者机构:

  • [ 1 ] [郑君]清华大学
  • [ 2 ] [周伟松]清华大学
  • [ 3 ] [胡冬青]北京工业大学
  • [ 4 ] [刘道广]清华大学
  • [ 5 ] [何仕均]清华大学
  • [ 6 ] [许军]清华大学

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来源 :

半导体技术

ISSN: 1003-353X

年份: 2011

期: 12

卷: 36

页码: 905-909,928

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