• 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

作者:

陈代谢 (陈代谢.) | 初明璋 (初明璋.) | 林云生 (林云生.) | 韩立 (韩立.) | 张跃飞 (张跃飞.) (学者:张跃飞) | 毛圣成 (毛圣成.) (学者:毛圣成)

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

针对现有微拉伸台系统误差较大的问题,作者研究了提高微拉伸台测量精度的数据处理方法.设计了高速、高精度数据采集系统,对比了线性拟合、多项式拟合、分段拟合和逐点比较数据处理方法,分析了各种数据处理方法在消除系统误差中的优缺点.数据处理方法采用VC++语言编程实现,可以在线矫正系统误差.实验结果表明,灵活运用上述处理方法可以有效地提高微拉伸台测量精度.

关键词:

微拉伸台 数据处理 误差矫正 高精度

作者机构:

  • [ 1 ] 中国科学院研究生院
  • [ 2 ] 中国科学院电工研究所微纳加工研究部
  • [ 3 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所

通讯作者信息:

电子邮件地址:

查看成果更多字段

相关关键词:

来源 :

北京工业大学学报

年份: 2011

期: 08

卷: 37

页码: 1205-1211

被引次数:

WoS核心集被引频次: 0

SCOPUS被引频次:

ESI高被引论文在榜: 0 展开所有

万方被引频次:

中文被引频次:

近30日浏览量: 1

在线人数/总访问数:1651/2945788
地址:北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编:100124) 联系我们:010-67392185
版权所有:北京工业大学图书馆 站点建设与维护:北京爱琴海乐之技术有限公司