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高精度微拉伸台数据处理方法研究

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作者:

陈代谢 (陈代谢.) | 初明璋 (初明璋.) | 林云生 (林云生.) | 展开

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

针对现有微拉伸台系统误差较大的问题,作者研究了提高微拉伸台测量精度的数据处理方法.设计了高速、高精度数据采集系统,对比了线性拟合、多项式拟合、分段拟合和逐点比较数据处理方法,分析了各种数据处理方法在消除系统误差中的优缺点.数据处理方法采用VC++语言编程实现,可以在线矫正系统误差.实验结果表明,灵活运用上述处理方法可以有效地提高微拉伸台测量精度.

关键词:

高精度 数据处理 误差矫正 微拉伸台

作者机构:

  • [ 1 ] 中国科学院研究生院
  • [ 2 ] 中国科学院电工研究所微纳加工研究部
  • [ 3 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所

通讯作者信息:

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来源 :

北京工业大学学报

年份: 2011

期: 08

卷: 37

页码: 1205-1211

被引次数:

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