本文采用ELID磨削和机械研磨抛光复合技术,对WC-Co硬质合金表面进行了超精密加工实验研究.首先采用ELID磨削对WC-Co硬质合金表面进行预加工,获得表面粗糙度　Ra18　nm的精密加工表面.在此基础上对其进行机械研磨抛光加工,研抛盘转速设定为150～200　r/min,研抛压力控制在0.2～0.5　N/cm2范围;机械研抛时,首先采用含W1金刚石磨粒的研抛液,对ELID磨削后的表面进行加工100　min左右,以达到快速去除的目的.再用含W0.5金刚石磨粒的研抛液,进行机械研抛约100　min,最后获得Ra4　nm的超精密表面.同时,针对机械研磨抛光过程,本文深入研究了磨料种类、粒度、抛光液溶剂、研抛压力、研抛加工时间等因素对加工表面粗糙度的影响.