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李响 (李响.) | 庞兆广 (庞兆广.) | 张新平 (张新平.) (学者:张新平)

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摘要:

利用激光干涉光刻和金纳米颗粒胶体溶液制备了宽度在100nm以下且总面积达到平方厘米量级的金纳米线光栅结构.制备过程中,首先在表面镀有厚度约为200nm的铟锡氧化物薄膜的面积为1cm×1cm的玻璃基片表面旋涂光刻胶,然后利用紫外激光干涉光刻制备光刻胶纳米光栅结构.有效控制干涉光刻过程中的曝光量、显影时间,获得小占空比的光刻胶光栅.再以光刻胶纳米光栅作为模板,旋涂金纳米颗粒胶体溶液.充分利用金纳米颗粒胶体溶液在光刻胶表面浸润性差的特点,限制旋涂后留存在光刻胶光栅槽中金纳米颗粒的数量,从而达到限制金纳米线宽度的目的.最后在250℃将样品进行退火处理5min.获得了周期为400nm且占空比小于1:4的...

关键词:

干涉光刻 波导耦合金属光子晶体 粒子等离子共振模式 角分辨调谐特性 金纳米颗粒胶体

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学应用数理学院
  • [ 2 ] 河北师范大学物理科学与信息工程学院

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来源 :

光子学报

年份: 2011

期: 12

卷: 40

页码: 1850-1854

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