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作者:

陈洪芳 (陈洪芳.) | 钟志 (钟志.) | 丁雪梅 (丁雪梅.)

收录:

CQVIP PKU CSCD

摘要:

为了调整激光外差干涉光路中的光学元件,减小或抑制测量非线性误差,研究了非线性误差测量的机理和方法.基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析,提出了非线性误差的测量方法.根据建立的非线性误差与测量信号幅度之间的模型,计算出非线性误差一次谐波和二次谐波的大小,实现非线性误差的精确测量.实验结果表明,该方法可以有效地测量激光外差干涉的非线性误差.

关键词:

激光外差干涉 非线性误差 频谱分析

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
  • [ 2 ] 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院
  • [ 3 ] 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

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来源 :

北京工业大学学报

年份: 2010

期: 06

卷: 36

页码: 754-758

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