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激光外差干涉非线性误差的测量方法
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为了调整激光外差干涉光路中的光学元件,减小或抑制测量非线性误差,研究了非线性误差测量的机理和方法.基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析,提出了非线性误差的测量方法.根据建立的非线性误差与测量信号幅度之间的模型,计算出非线性误差一次谐波和二次谐波的大小,实现非线性误差的精确测量.实验结果表明,该方法可以有效地测量激光外差干涉的非线性误差.
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 2010
期： 06
卷： 36
页码： 754-758
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材料与制造学部 机械工程与应用电子技术学院
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