本文利用等离子体气相化学沉积(PECVD)的方法,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)和双向拉伸聚丙烯(BOPP)薄膜上制备了纳米厚度的SiOx涂层.使用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、原子力显微镜(AFM)和超声原子力显微镜(UAFM)对纳米厚度的SiOx薄膜进行表征.利用AFM和UAFM,可以得到SiOx薄膜的形貌和超声幅值成像.尤其是本文使用的新方法UAFM,可以表征表面和次表面缺陷.同时,本文实验研究了,镀SiOx的PET和BOPP薄膜的拉伸性能、接触角和阻隔性.结果表明,SiOx涂层提高了塑料薄膜的阻隔性、拉伸性能.