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摘要：
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(＜350 ℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能.利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能.结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500 nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6 nm,其与基体结合力达到49 N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高.
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