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田波 (田波.) | 亢宝位 (亢宝位.) | 吴郁 (吴郁.) | 韩峰 (韩峰.)

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摘要:

新结构沟槽栅E-JFET的特点是在栅极下隐埋局域氧化层,以降低栅电容,从而改善器件的开关速度,尤其是适用于低压高频领域.通过理论及仿真分析,与无隐埋氧化层的沟槽栅MOSFET以及沟槽栅E-JFET进行了性能比较.结果证明,该结构具有最低的开关功耗,即QG最小,在相同条件下相对于沟槽栅MOSFET和沟槽栅E-JFET来说,QG的改善分别可达到86.3%和13.4%.

关键词:

半导体器件 工艺参数/金属-氧化物-半导体场效应晶体管

作者机构:

  • [ 1 ] [田波]北京工业大学
  • [ 2 ] [亢宝位]北京工业大学
  • [ 3 ] [吴郁]北京工业大学
  • [ 4 ] [韩峰]北京工业大学

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来源 :

中国集成电路

ISSN: 1681-5289

年份: 2009

期: 2

卷: 18

页码: 13-16

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